
近日,经工信部审核,各省市陆续公布第六批国家级专精特新“小巨人”。恒格凭借在等离子领域的不断创新和突破,荣耀入选!
什么是“小巨人”?
“专精特新”中小企业是指具有“专业化、精细化、特色化、新颖化”特征的中小企业,而专精特新“小巨人”企业则是位于产业基础核心领域、产业链关键环节,创新能力突出、掌握核心技术、细分市场占有率高、质量效益好,是优质中小企业的核心力量。专精特新“小巨人”是我国中小企业领域的最高奖项,是未来产业链的重要支撑,也是强链补链延链的关键力量。
目前,我国已形成了创新型中小企业—“专精特新”中小企业—国家级专精特新“小巨人”—国家制造业单项冠军的梯度培育体系。近年来,从中央到地方,对专精特新中小企业尤其是“小巨人”企业支持力度进一步加大。
是否入选专精特新“小巨人”企业,已经成为评价企业高科技水平、行业市场地位的标准,也是企业寻求股债融资、并购重组、股权激励等金融支持和补贴政策的重要依据。专精特新“小巨人”企业亦是各地重点锁定的招商目标,备受市场关注。
恒格专注等离子工业应用,致力于等离子装备的研发创新,攻克多项技术难题,不断突破技术瓶颈,打造了一系列拥有自主知识产权和核心技术专利的产品。
近期,我司获得两项重要科技成果。
成果(一) PTH在线等离子除胶处理系统

行业首创,干法取代湿法在线等离子除胶处理系统,去除传统PTH Desmear湿法工艺流程。
均匀性85%,生产效率提高60%;去除PTH的Desmear段,减少药水使用及排放;环保创新,以干法取代湿法,应用于PTH线,解决了大面积电路板在线等离子处理的难题。
已通过CPCA科技成果评审(鉴定)

·鉴定结果·
该系统设备属于行业首创,技术指标达到国际先进水平,市场前景广阔,建议进一步推进市场应用的力度。
设备目前在两家龙头企业进行DEMO,
已经试产了40000+片,从切片数据可看出Plasma均匀性比PTH除胶效果更佳。Plasma后孔壁平整均匀,结合力好。
成果(二)深槽刻蚀设备
成功研发“深槽刻蚀设备”,数据测试结果显示,具有高刻蚀率及高均匀性的工艺指标,已达到国际知名品牌水平。
适用于6-8寸化合物刻蚀(SiC、GaN、SOI wafer),TGV ,TCV等工艺,选择不同配置可以兼容TSV,DRiE等工艺。
新起点,新发展。
这一荣誉的获得,也将进一步激励恒格继续坚持创新驱动发展战略,发挥国家级“专精特新小巨人”的示范性作用,不断提升企业核心竞争力,优化产品布局,拓宽国内外市场,为推动行业的高质量发展做出更大的贡献。